洁净车间
发布时间:
2025-04-29
电力电子与半导体行业对产品质量和生产环境有极高要求,洁净车间内常使用氢气、氮气、氧气等高纯度工艺气体。氢气具有高度易燃性和扩散性,其泄漏可能引发火灾或爆炸事故,严重威胁人员安全和设备运行。因此,实时监测氢气浓度,及时预警和干预,是保障洁净车间安全运行的关键环节。
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ZM01氢气传感器是基于先进MEMS架构的热导式原理的数字气敏传感器,环境中的氢气将导致材料本征电学属性发生变化,变化量与氢气浓度呈线性变化。主要用途氢能源汽车、氢能源制备、氢能源存储、氢能源运输及使用、其他场景中的氢气检测